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GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

发布时间:2019-09-02

GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

  Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

  标准 推荐性 现行标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由TC203(半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为标准化管理委员会。

GB/T 1557-2018主要起草单位

新特能源股份有限公司 、有研半导体材料有限公司 、亚洲硅业(青海)有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、隆基绿能科技股份有限公司 、内蒙古盾安光伏科技有限公司 、峨嵋半导体材料研究所 、北京合能阳光新能源技术有限公司 。

GB/T 1557-2018主要起草人

银波 、夏进京 、邱艳梅 、刘国霞 、柴欢 、赵晶晶 、刘文明 、姚利忠 、王海礼 、邓浩 、高明 、郑连基 、陈赫 、石宇 、杨旭 、肖宗杰 。

GB/T 1557-2018相近标准(计划)

20151786-T-469 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
20060512-T-610 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
20062373-T-469 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
SJ/T 10625-1995 锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法
SJ/T 11491-2015 短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
JB/T 9495.6-1999 光学晶体光吸收系数测量方法

本文地址: http://www.bjhgyjs.cn/jiancebiaozhun/2444.html
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