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微流控芯片(或器官芯片)的设计与加工

时间:2022-04-22 13:51:00 文章来源:中化所 TAG: 点击::

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  微流控芯片(或器官芯片)的设计与加工

微流控芯片技术(Microfluidics)是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上, 自动完成分析全过程。本团队可以根据需要提供芯片设计,芯片加工,芯片系统相关配套装置,以及芯片运行相关实验的服务,具体价格需要根据服务内容详谈。

  微流控芯片因其微型化,规模集成等特征,在有机合成、微反应器和化学分析,临床诊断仪器和体外仿生模型等领域得到了广泛应用。

PDMS器件

加工精度取决于模具的精度,原位芯片提供高精度模具如刻蚀硅,SU-8,刻蚀玻璃。

SU-8器件

胶厚范围在2-400um之间,胶厚和线宽比为1:1,精度误差小于10%。

硅流道器件

最小线宽在百纳米级别,流道陡直度高,线宽精度高,可控精度5%以内,流道最大深宽比可达20:1。

玻璃流道器件

深度1um内用IBE刻蚀,刻蚀精度10%以内,深宽比1:1,加工效率高。

深度1-20um,可用NLD刻蚀,刻蚀具有高刻蚀速率、高均匀性、高等离子体密度及低压放电。

深度20um以上用湿法腐蚀,加工效率高,深宽比2:1以上。线宽200um以上,精度要求低,可采用激光打孔。

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