微流控芯片(或器官芯片)的设计与加工

　　微流控芯片(或器官芯片)的设计与加工

微流控芯片技术(Microfluidics)是把生物、化学、医学分析过程的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单元集成到一块微米尺度的芯片上， 自动完成分析全过程。本团队可以根据需要提供芯片设计，芯片加工，芯片系统相关配套装置，以及芯片运行相关实验的服务，具体价格需要根据服务内容详谈。

　　微流控芯片因其微型化，规模集成等特征，在有机合成、微反应器和化学分析，临床诊断仪器和体外仿生模型等领域得到了广泛应用。

PDMS器件

加工精度取决于模具的精度，原位芯片提供高精度模具如刻蚀硅，SU-8，刻蚀玻璃。

SU-8器件

胶厚范围在2-400um之间，胶厚和线宽比为1:1，精度误差小于10%。

硅流道器件

最小线宽在百纳米级别，流道陡直度高，线宽精度高，可控精度5%以内，流道最大深宽比可达20:1。

玻璃流道器件

深度1um内用IBE刻蚀，刻蚀精度10%以内，深宽比1:1，加工效率高。

深度1-20um，可用NLD刻蚀，刻蚀具有高刻蚀速率、高均匀性、高等离子体密度及低压放电。

深度20um以上用湿法腐蚀，加工效率高，深宽比2:1以上。线宽200um以上，精度要求低，可采用激光打孔。