电子工业用气体中氢检测的重要性

在电子工业领域，高纯气体是半导体制造、平板显示、太阳能电池生产等核心工艺的关键原料。其中，氢气因其高还原性和热导性，广泛应用于化学气相沉积（CVD）、退火、蚀刻等环节。然而，氢气纯度的微小波动可能直接影响器件性能，甚至引发安全隐患（如爆炸风险）。因此，对电子工业用氢气进行精准检测成为保障产品质量和生产安全的核心环节。

氢检测的主要项目

电子工业用氢气的检测项目主要包含以下内容：

• 氢气纯度：要求≥99.999%（5N级）以上，尤其针对高端芯片制造
• 杂质气体分析：包括氧气、氮气、水分（H₂O）、烃类化合物等
• 颗粒物浓度：需满足ISO 14644-1 Class 1级洁净度要求
• 同位素丰度检测：特定工艺对氘（D₂）含量有严格要求

常用检测仪器与原理

为实现上述检测目标，业界采用以下核心仪器：

• 气相色谱仪（GC）：通过分离柱与TCD检测器分析杂质气体
• 激光光谱仪：基于TDLAS技术实时监测微量水分和氧含量
• 质谱仪（MS）：用于同位素比例及超痕量杂质分析
• 电化学传感器：在线监测氢气泄漏与浓度波动
• 颗粒计数器：依据光散射原理检测0.1μm以上颗粒物

典型检测方法体系

针对不同应用场景，主要采用以下检测方法组合：

• 离线实验室分析：GC-MS联用技术实现ppb级杂质检测
• 在线连续监测系统：集成激光光谱、电化学传感器等多模块
• 快速响应检测：傅里叶变换红外光谱（FTIR）用于工艺异常诊断
• 环境安全监测：催化燃烧式传感器阵列部署在危险区域

相关检测标准与规范

电子工业氢检测需遵循以下国际及行业标准：

• SEMI C3.41：半导体级氢气质量标准
• GB/T 3634.2-2011：中国纯氢、高纯氢技术要求
• ISO 14687-3：氢燃料纯度规范（部分指标参考）
• ASTM D7649：气相色谱法测定高纯氢中杂质
• IEC 60079-29-1：易燃气体检测器性能要求

通过严格执行上述标准，检测机构可确保氢气纯度、杂质含量等参数满足电子工业生产的严苛要求，为先进制程技术提供可靠保障。

检测机构资质证书

CMA认证

检验检测机构资质认定证书

证书编号：241520345370

有效期至：2030年4月15日

CNAS认可

实验室认可证书

证书编号：CNAS L22006

有效期至：2030年12月1日

ISO认证

质量管理体系认证证书

证书编号：ISO9001-2024001

有效期至：2027年12月31日

关于我们

部分仪器

合作客户