高纯石英检测
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发布时间:2025-04-25 15:32:36 更新时间:2025-06-09 19:26:15
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作者:中科光析科学技术研究所检测中心
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高纯石英作为半导体、光伏、光纤通信等高科技领域的核心原材料,其纯度直接影响产品的性能与可靠性。石英中微量杂质的存在可能导致材料电学性能下降、透光率降低或热稳定性不足。因此,高纯石英检测是确保材料质量、优化生产工艺的关键环节。随着新能源产业和电子信息技术的快速发展,对纯度≥99.99%的石英材料需求激增,检测技术的精确性和覆盖范围也面临更高要求。
高纯石英的主要检测项目包括: 1. 化学纯度检测(SiO2含量); 2. 杂质元素分析(如Al、Fe、Na、K、Li、B等金属及非金属元素); 3. 晶型结构分析(α-石英与β-石英的转化特性); 4. 粒度分布与形貌特征; 5. 热膨胀系数及高温稳定性; 6. 表面污染(有机物、颗粒吸附等)。 其中,杂质元素的痕量检测(ppm级甚至ppb级)是核心难点。
常用检测仪器包括: 1. 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS):用于痕量金属元素分析; 2. X射线荧光光谱仪(XRF):快速测定主量元素及部分杂质; 3. 离子色谱仪(IC):检测Cl-、F-等阴离子; 4. 激光粒度分析仪:表征颗粒尺寸分布; 5. 扫描电子显微镜(SEM-EDS):分析微观形貌及元素分布; 6. X射线衍射仪(XRD):鉴定晶型结构。
典型检测方法包括: 1. 化学分析法:通过酸溶解样品后采用滴定法或比色法测定SiO2含量; 2. 光谱法:利用原子吸收光谱(AAS)或ICP-MS检测金属元素; 3. 物理性能测试:如热重分析(TGA)评估高温失重特性; 4. 表面分析技术:采用俄歇电子能谱(AES)或X射线光电子能谱(XPS)分析表面污染物。
国内外主要检测标准包括: 1. GB/T 32651-2016《高纯石英中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》; 2. ASTM C1466-13:硅基材料中痕量元素的ICP-MS检测规范; 3. ISO 21587-3:石英制品化学分析通则; 4. SEMI MF1724-1109:半导体级石英材料验收标准。 检测需结合材料用途选择对应标准,如光伏级石英需满足硼(B)<5ppm、磷(P)<3ppm的特殊要求。
证书编号:241520345370
证书编号:CNAS L22006
证书编号:ISO9001-2024001
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