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溅射靶材检测

时间:2020-08-12 15:51:01 文章来源:中化所 TAG: 点击::0

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  溅射靶材检测去哪里做?溅射是制备薄膜材料的主要技术之一中化所检测中心可对各类溅射靶材检测。

样品类型

  高纯金属溅射靶材,高纯度合金溅射靶材,氧化物(O)陶瓷溅射靶材,氮化物(N)陶瓷溅射靶,碳化物(C)陶瓷溅射靶,氟化物(F)陶瓷溅射靶,硅化物(Si)陶瓷溅射靶,硫化物(S)陶瓷溅射靶,硼化物(B)陶瓷溅射靶;硒化物(Se)陶瓷溅射靶,碲化物(Te)陶瓷溅射靶,锑化物陶瓷溅射靶。

检测指标

  尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制;表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒
溅射靶材检测

检测标准

  ASTM F1709-1997(2008)电子薄膜用高纯度钛溅射靶材的规格

  GB/T 29658-2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材

  T/ZZB 0093-2016集成电路用高纯钛溅射靶材

  T/ZZB 0639-2018氧化锌铝磁控溅射靶材

  YS/T 718-2009平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶

  YS/T 719-2009平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶

  YS/T 819-2012电子薄膜用高纯铜溅射靶材

  YS/T 837-2012溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

  YS/T 893-2013电子薄膜用高纯钛溅射靶材

  YS/T 935-2013电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南

中化所检测特色

  1、中化所是集体所有制检验中心,实验室研发及质量检验时间短,花费低,实验方案完备,出具的检验报告科学、公正、准确。

  2、中化所国内多所实验室分支,支持国内上门取样/寄样检测!

  3、实验精确度高中化所具备认可的科研成果检测资格,检验报告可以通过国内二维码防伪系统查询真伪。

  4、中化所具有一流的检测仪器,各种检测仪器及设备300百多台套。

  5、中化所资质中化所具有计量认证(CMA),资质齐全,有保障,出具规范的检验报告

  6、支持36种语言编写MSDS服务。

  7、所有实验都签订保密协议,注重保护客户隐私。

  8、中化所与众多企业,高校,科研院所等保持合作关系,以科学研究为己任,不断提高自身检测水平,致力于搭建覆盖全国,服务全球的检测分析平台。

溅射靶材检测检测流程

  1、邮寄寄样或上门取样

  2、工程师初步检测

  3、根据试验复杂程度及样品数量报价

  4、双方确定签订保密协议,实验室开始实验

  5、完成实验:检测周期一般在7-15个工作日(部分特殊试验周期会延长),可咨询工程师

  6、出具检验报告,后期服务。

下一篇:吸湿性测定 上一篇:钛酸锶检测 以上是中化所溅射靶材检测服务的相关介绍,如有其他检测需求可咨询在线工程师进行了解!
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