无尘布检测
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发布时间:2025-03-12 10:27:22 更新时间:2025-03-11 10:31:01
点击:0
作者:中科光析科学技术研究所检测中心

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作者:中科光析科学技术研究所检测中心
无尘布(Cleanroom Wipes)主要用于电子、医疗、光学等洁净环境中,其检测需围绕 洁净度、吸液性、抗静电性、化学残留 等核心指标展开,依据国际标准(如IEST-RP-CC004、ISO 14644)及行业规范(如SEMI E78),确保其在高精度场景下的性能与安全性。以下是系统化的检测方案与操作指南:
检测类别 | 关键参数 | 检测方法 | 标准依据 |
---|---|---|---|
洁净度 | 颗粒物(≥0.5μm颗粒数/㎡) | 液体冲洗法+颗粒计数器(ISO 21501-4) | IEST-RP-CC004.3 |
纤维脱落 | 干/湿态纤维释放量(条/m²) | 振动法(ASTM D737)、显微镜计数法 | ASTM E2098 |
吸液性能 | 吸液速率(s)、吸液量(mL/g) | 滴液法(垂直吸液高度)、称重法 | EDANA ERT 10.1 |
抗静电性 | 表面电阻(Ω/sq)、静电压衰减时间 | 电阻测试仪(ASTM D257)、静电衰减测试仪 | ANSI/ESD STM11.11 |
化学残留 | 离子(Cl⁻、SO₄²⁻等)、NVR(非挥发残留) | 离子色谱法(IC)、GC-MS | SEMI E78-0307 |
耐擦拭性 | 擦拭次数(无破损/纤维脱落) | 机械臂模拟擦拭(压力、频率可调) | 客户定制标准 |
参数 | 电子级(SEMI E78) | 医疗级(ISO 7) | 光学级(定制) |
---|---|---|---|
颗粒物(≥0.5μm) | ≤100颗粒/㎡ | ≤200颗粒/㎡ | ≤50颗粒/㎡ |
Cl⁻残留 | ≤0.1μg/cm² | ≤0.5μg/cm² | ≤0.05μg/cm² |
表面电阻 | ≤1×10¹¹ Ω/sq | ≤1×10¹² Ω/sq | ≤1×10⁹ Ω/sq |
设备/工具 | 用途 | 推荐型号 |
---|---|---|
激光颗粒计数器 | 洁净度与颗粒物检测 | Lighthouse SOLAIR 3100 |
表面电阻测试仪 | 抗静电性能评估 | Trek Model 152-1(10³~10¹³ Ω) |
离子色谱仪 | 化学离子残留分析 | Thermo Scientific ICS-6000 |
机械擦拭测试机 | 耐擦拭性模拟测试 | Taber Linear Abraser 5750 |
半导体晶圆清洁:
医疗手术擦拭:
光学镜头清洁:
问题 | 原因分析 | 优化措施 |
---|---|---|
颗粒物超标 | 原材料污染或切割工艺缺陷 | 使用超纯水清洗,升级激光切割工艺 |
吸液性差 | 纤维密度低或表面疏水处理过度 | 调整纤维织造工艺(增加沟槽结构) |
静电残留高 | 抗静电剂添加不足或分布不均 | 改进涂层工艺(如等离子体处理均匀喷涂抗静电剂) |
边缘纤维脱落 | 封边不牢固(超声或热压工艺缺陷) | 采用激光熔边技术,避免毛边产生 |
通过系统化检测,可确保无尘布在高端制造领域的可靠性与洁净度。建议根据应用场景选择检测项目,并定期校准设备(如颗粒计数器每月校准一次),同时优化生产工艺(如无尘包装、洁净室封装)以降低污染风险。
证书编号:241520345370
证书编号:CNAS L22006
证书编号:ISO9001-2024001
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